近日，市发展改革委批复了关于高端晶圆处理设备产业化创新路项目《节能报告》审查意见。

建设规模及主要内容：

该项目为半导体专用设备的研发、生产装配及试运行，建成后年产前道浸没式涂胶显影机36台、前道堆叠式涂胶显影机28台、前道浸没式涂胶显影机32台、前道12寸涂胶显影机100台。

项目总用地面积30635.12平方米，新建建筑4栋，总建筑面积为42397.07平方米，其中厂房建筑面积35602.55平方米，生活中心建筑面积6343.00平方米，库房建筑面积290.70平方米，连廊建筑面积为160.82平方米。新建停车位208个。

项目用能情况：该项目能源消耗品种主要为电力、天然气，耗能工质为新水。

年综合能源消费量合计4337.70吨标准煤（当量值）、7977.94吨标准煤（等价值），其中电力消耗2038.21万千瓦时，折合2504.96吨标准煤（当量值）、6145.20吨标准煤（等价值）；天然气消耗量137.80万立方米，折合1832.74吨标准煤；新水消耗量26.57万吨。项目单位产品综合能耗22.13吨标准煤/台。